സാങ്കേതികവിദ്യ
ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്റ്റേറ്റുകളിൽ പരലുകളുടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകൾ വളർത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പുതിയ സാങ്കേതികതയാണ് മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി, അല്ലെങ്കിൽ എംബിഇ. അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം അവസ്ഥയിൽ, ചൂടാക്കൽ സ്റ്റ ove വഴി ആവശ്യമായ എല്ലാത്തരം ഘടകങ്ങളും സജ്ജീകരിച്ച് നീരാവി ഉൽപാദിപ്പിക്കുന്നു, ബീം ആറ്റോമിക് അല്ലെങ്കിൽ മോളിക്യുലാർ ബീം കൂട്ടിമുട്ടിച്ചതിനുശേഷം രൂപം കൊള്ളുന്ന ദ്വാരങ്ങളിലൂടെ, സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ കെ.ഇ.യുടെ ഉചിതമായ താപനിലയിലേക്ക് നേരിട്ട് കുത്തിവയ്ക്കുക, തന്മാത്രാ ബീം നിയന്ത്രിക്കുക ഒരേ സമയം കെ.ഇ. സ്കാൻ ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ക്രിസ്റ്റൽ വിന്യാസ പാളികളിലെ തന്മാത്രകളെയോ ആറ്റങ്ങളെയോ "വളർച്ച" എന്ന കെ.ഇ.യിൽ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്താൻ ഇതിന് കഴിയും.
എംബിഇ ഉപകരണങ്ങളുടെ സാധാരണ പ്രവർത്തനത്തിന്, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, താഴ്ന്ന മർദ്ദം, അൾട്രാ ക്ലീൻ ലിക്വിഡ് നൈട്രജൻ എന്നിവ തുടർച്ചയായി സ്ഥിരതയോടെ ഉപകരണങ്ങളുടെ കൂളിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകേണ്ടതുണ്ട്. പൊതുവേ, ദ്രാവക നൈട്രജൻ നൽകുന്ന ഒരു ടാങ്കിന് 0.3MPa നും 0.8MPa നും ഇടയിൽ pressure ട്ട്പുട്ട് മർദ്ദമുണ്ട്. -196 at ലെ ലിക്വിഡ് നൈട്രജൻ പൈപ്പ്ലൈൻ ഗതാഗത സമയത്ത് നൈട്രജനായി എളുപ്പത്തിൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്നു. 1: 700 എന്ന ഗ്യാസ്-ലിക്വിഡ് അനുപാതമുള്ള ദ്രാവക നൈട്രജൻ പൈപ്പ്ലൈനിൽ ഗ്യാസ് ചെയ്തുകഴിഞ്ഞാൽ, അത് വലിയ അളവിൽ ദ്രാവക നൈട്രജൻ ഫ്ലോ സ്പേസ് കൈവശമാക്കുകയും ദ്രാവക നൈട്രജൻ പൈപ്പ്ലൈനിന്റെ അവസാനത്തിൽ സാധാരണ ഒഴുക്ക് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും. കൂടാതെ, ലിക്വിഡ് നൈട്രജൻ സംഭരണ ടാങ്കിൽ, വൃത്തിയാക്കാത്ത അവശിഷ്ടങ്ങൾ ഉണ്ടാകാൻ സാധ്യതയുണ്ട്. ദ്രാവക നൈട്രജൻ പൈപ്പ്ലൈനിൽ, നനഞ്ഞ വായുവിന്റെ നിലനിൽപ്പും ഐസ് സ്ലാഗിന്റെ ഉത്പാദനത്തിലേക്ക് നയിക്കും. ഈ മാലിന്യങ്ങൾ ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്താൽ, അത് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് പ്രവചനാതീതമായ നാശമുണ്ടാക്കും.
അതിനാൽ, storage ട്ട്ഡോർ സ്റ്റോറേജ് ടാങ്കിലെ ദ്രാവക നൈട്രജൻ ഉയർന്ന ദക്ഷത, സ്ഥിരത, വൃത്തിയുള്ള പൊടിരഹിത വർക്ക് ഷോപ്പിലെ എംബിഇ ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകുന്നു, കൂടാതെ താഴ്ന്ന മർദ്ദം, നൈട്രജൻ ഇല്ല, മാലിന്യങ്ങൾ ഇല്ല, 24 മണിക്കൂർ തടസ്സമില്ലാതെ, അത്തരം ഗതാഗത നിയന്ത്രണ സംവിധാനം യോഗ്യതയുള്ള ഉൽപ്പന്നം.
പൊരുത്തപ്പെടുന്ന MBE ഉപകരണങ്ങൾ
2005 മുതൽ, എച്ച്എൽ ക്രയോജനിക് എക്യുപ്മെന്റ് (എച്ച്എൽ സിആർഒ) ഈ സംവിധാനം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും അന്താരാഷ്ട്ര എംബിഇ ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കളുമായി സഹകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. എംബിഇ ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കൾക്ക്, ഡിസിഎ, റെബർ എന്നിവയുൾപ്പെടെ ഞങ്ങളുടെ കമ്പനിയുമായി സഹകരണ ബന്ധമുണ്ട്. എംബിഇ ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കൾ, ഡിസിഎ, റിബർ എന്നിവയുൾപ്പെടെ ധാരാളം പ്രോജക്ടുകളിൽ സഹകരിച്ചു.
സംയുക്ത അർദ്ധചാലക ഗവേഷണത്തിനും വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുമായുള്ള മോളിക്യുലർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി (എംബിഇ) ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെയും അനുബന്ധ സേവനങ്ങളുടെയും ഒരു ആഗോള ആഗോള ദാതാവാണ് റൈബർ എസ്എ. വളരെ ഉയർന്ന നിയന്ത്രണങ്ങളോടെ, വളരെ നേർത്ത പാളികൾ കെ.ഇ.യിൽ നിക്ഷേപിക്കാൻ റൈബർ എംബിഇ ഉപകരണത്തിന് കഴിയും. എച്ച്എൽ ക്രയോജനിക് എക്യുപ്മെന്റിന്റെ (എച്ച്എൽ സിആർഒ) വാക്വം ഉപകരണങ്ങൾ റൈബർ എസ്എയിൽ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. ഏറ്റവും വലിയ ഉപകരണം റൈബർ 6000 ഉം ഏറ്റവും ചെറുത് കോംപാക്റ്റ് 21 ഉം ആണ്. ഇത് നല്ല അവസ്ഥയിലാണ്, മാത്രമല്ല ഉപയോക്താക്കൾ ഇത് അംഗീകരിക്കുകയും ചെയ്തു.
ലോകത്തിലെ മുൻനിര ഓക്സൈഡ് എംബിഇയാണ് ഡിസിഎ. 1993 മുതൽ, ഓക്സിഡേഷൻ ടെക്നിക്കുകൾ, ആന്റിഓക്സിഡന്റ് സബ്സ്റ്റേറ്റ് ചൂടാക്കൽ, ആന്റിഓക്സിഡന്റ് സ്രോതസ്സുകൾ എന്നിവയുടെ വ്യവസ്ഥാപിത വികസനം നടക്കുന്നു. ഇക്കാരണത്താൽ, പല പ്രമുഖ ലബോറട്ടറികളും ഡിസിഎ ഓക്സൈഡ് സാങ്കേതികവിദ്യ തിരഞ്ഞെടുത്തു. കോമ്പോസിറ്റ് അർദ്ധചാലക MBE സിസ്റ്റങ്ങൾ ലോകമെമ്പാടും ഉപയോഗിക്കുന്നു. എച്ച്എൽ ക്രയോജനിക് എക്യുപ്മെന്റിന്റെ (എച്ച്എൽ സിആർഒ) വിജെ ലിക്വിഡ് നൈട്രജൻ സർക്കുലറ്റിംഗ് സിസ്റ്റവും ഡിസിഎയുടെ ഒന്നിലധികം മോഡലുകളുടെ എംബിഇ ഉപകരണങ്ങളും മോഡൽ P600, R450, SGC800 മുതലായ നിരവധി പ്രോജക്ടുകളിൽ പൊരുത്തപ്പെടുന്ന അനുഭവമുണ്ട്.
പ്രകടന പട്ടിക
ഷാങ്ഹായ് ഇൻസ്റ്റിറ്റ്യൂട്ട് ഓഫ് ടെക്നിക്കൽ ഫിസിക്സ്, ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസ് |
പതിനൊന്നാമത്തെ ഇൻസ്റ്റിറ്റ്യൂട്ട് ഓഫ് ചൈന ഇലക്ട്രോണിക്സ് ടെക്നോളജി കോർപ്പറേഷൻ |
ഇൻസ്റ്റിറ്റ്യൂട്ട് ഓഫ് അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസ് |
ഹുവാവേ |
അലിബാബ ദാമോ അക്കാദമി |
പവർടെക് ടെക്നോളജി Inc. |
ഡെൽറ്റ ഇലക്ട്രോണിക്സ് ഇങ്ക്. |
സുസ ou എവർബ്രൈറ്റ് ഫോട്ടോണിക്സ് |
പോസ്റ്റ് സമയം: മെയ് -26-2021