മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി ഉയർന്ന വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം (1 x 10^-8പാ) പരിസ്ഥിതി. മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സിയുടെ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട വശം അതിന്റെ കുറഞ്ഞ നിക്ഷേപ നിരക്കാണ്, ഇത് സാധാരണയായി ഫിലിമിനെ മണിക്കൂറിൽ 3000 നാനോമീറ്ററിൽ താഴെ നിരക്കിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളരാൻ അനുവദിക്കുന്നു. ഇത്രയും കുറഞ്ഞ നിക്ഷേപ നിരക്കിന് മറ്റ് നിക്ഷേപ രീതികളുടെ അതേ നിലവാരത്തിലുള്ള ശുചിത്വം കൈവരിക്കുന്നതിന് ആവശ്യമായ ഉയർന്ന വാക്വം ആവശ്യമാണ്.

മുകളിൽ വിവരിച്ച അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം നിറവേറ്റുന്നതിന്, MBE ഉപകരണത്തിന് (ക്നുഡ്സെൻ സെൽ) ഒരു തണുപ്പിക്കൽ പാളിയുണ്ട്, കൂടാതെ വളർച്ചാ അറയുടെ അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം പരിസ്ഥിതി ഒരു ദ്രാവക നൈട്രജൻ രക്തചംക്രമണ സംവിധാനം ഉപയോഗിച്ച് നിലനിർത്തണം. ദ്രാവക നൈട്രജൻ ഉപകരണത്തിന്റെ ആന്തരിക താപനിലയെ 77 കെൽവിൻ (−196 °C) ആയി തണുപ്പിക്കുന്നു. താഴ്ന്ന താപനില അന്തരീക്ഷത്തിന് വാക്വമിലെ മാലിന്യങ്ങളുടെ ഉള്ളടക്കം കൂടുതൽ കുറയ്ക്കാനും നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ നിക്ഷേപത്തിന് മികച്ച സാഹചര്യങ്ങൾ നൽകാനും കഴിയും. അതിനാൽ, MBE ഉപകരണങ്ങൾക്ക് -196 °C ദ്രാവക നൈട്രജന്റെ തുടർച്ചയായതും സ്ഥിരവുമായ വിതരണം നൽകുന്നതിന് ഒരു സമർപ്പിത ദ്രാവക നൈട്രജൻ തണുപ്പിക്കൽ രക്തചംക്രമണ സംവിധാനം ആവശ്യമാണ്.