സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ക്രയോജനിക് വിതരണ സംവിധാനങ്ങൾ ദ്രാവക നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ ആർഗോൺ ഒരു പോയിന്റിൽ നിന്ന് മറ്റൊന്നിലേക്ക് മാറ്റുന്നതിനേക്കാൾ കൂടുതൽ ചെയ്യുമെന്ന് പ്രതീക്ഷിക്കുന്നു. ദ്രാവകം സ്ഥിരതയുള്ളതും വൃത്തിയുള്ളതും ഉപയോഗ ഘട്ടം വരെ സിംഗിൾ-ഫേസ് ആയി തുടരണം. ചെറിയ അളവിലുള്ള താപ പ്രവേശനം പോലും ഫ്ലാഷ് ഗ്യാസ്, മർദ്ദത്തിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഈർപ്പം മലിനീകരണം എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും, ഇത് പ്രക്രിയ സ്ഥിരതയെ ബാധിക്കുന്നു.

അതുകൊണ്ടാണ്വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പ്പരമ്പരാഗത ഫോം-ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പിംഗിന് പകരം സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബുകളിൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ശരിയായി കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന പൈപ്പിംഗുമായി സംയോജിപ്പിക്കുമ്പോൾഡൈനാമിക് വാക്വം പമ്പ് സിസ്റ്റം, മുഴുവൻ ട്രാൻസ്ഫർ ലൈനിലുടനീളം ദീർഘകാല വാക്വം സ്ഥിരത നിലനിർത്തിക്കൊണ്ട് മൊത്തത്തിലുള്ള താപ ചോർച്ച 3 W/m-ൽ താഴെയായി തുടരാം.

സെമികണ്ടക്ടർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്, വാക്വം ഇൻസുലേഷനെ പൈപ്പിന് ചുറ്റുമുള്ള ഒരു നിഷ്ക്രിയ പാളിയായി കാണരുത്. അളക്കാവുന്ന വാക്വം പ്രകടനവും ദീർഘകാല പരിപാലനവും ആവശ്യമുള്ള ഒരു സജീവ താപ സംവിധാനമാണിത്. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പരിതസ്ഥിതികളിൽ, ദ്രാവക സാച്ചുറേഷൻ താപനിലയിലെ നേരിയ വർദ്ധനവ് പോലും കൂളിംഗ് സർക്യൂട്ടുകൾ, ശുദ്ധീകരണ സംവിധാനങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ പ്രക്രിയ നിയന്ത്രണ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്ന രണ്ട്-ഘട്ട പ്രവാഹ അവസ്ഥകളിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം.

ക്രയോജനിക് സെമികണ്ടക്ടർ സിസ്റ്റങ്ങളിൽ താപ ചോർച്ച പ്രധാനമാകുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

എല്ലാ ക്രയോജനിക് ട്രാൻസ്ഫർ ലൈനും മൂന്ന് പ്രാഥമിക താപ ട്രാൻസ്ഫർ രൂപങ്ങളാൽ സ്വാധീനിക്കപ്പെടുന്നു:

• വാർഷിക സ്ഥലത്തുടനീളമുള്ള വികിരണം
• അവശിഷ്ട തന്മാത്രകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വാതക ചാലകം
• സപ്പോർട്ടുകളിലൂടെയും സ്‌പെയ്‌സറുകളിലൂടെയും ദൃഢമായ ചാലകം

ശരിയായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തതിൽവാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പ്, വാർഷിക മർദ്ദം സാധാരണയായി 1×10⁻⁴ Pa-യിൽ താഴെയായി കുറയുന്നു. ആ വാക്വം തലത്തിൽ, ശേഷിക്കുന്ന വാതക തന്മാത്രകൾക്ക് വാർഷിക വിടവിനേക്കാൾ ഗണ്യമായി വലിയ ഒരു ശരാശരി സ്വതന്ത്ര പാതയുണ്ട്, ഇത് വാതക താപ ചാലകതയെ വളരെയധികം കുറയ്ക്കുന്നു.

മൾട്ടി-ലെയർ ഇൻസുലേഷൻ (MLI) ഉപയോഗിച്ചാണ് വികിരണ താപ കൈമാറ്റം നിയന്ത്രിക്കുന്നത്. പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്ന ഫോയിലിന്റെയും കുറഞ്ഞ ചാലകതയുള്ള സ്‌പെയ്‌സർ മെറ്റീരിയലിന്റെയും ഒന്നിടവിട്ട പാളികളാണ് ഇൻസുലേഷനിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നത്. ശരിയായ പാളി സാന്ദ്രതയും ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ രീതിയും ഉപയോഗിച്ച്, വികിരണ താപ പ്രവാഹം ഒരു ചതുരശ്ര മീറ്ററിന് കുറച്ച് വാട്ടുകളായി കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും.

ശേഷിക്കുന്ന താപ പാത പ്രധാനമായും മെക്കാനിക്കൽ സപ്പോർട്ടുകളിൽ നിന്നാണ് വരുന്നത്. ഈ പ്രഭാവം കുറയ്ക്കുന്നതിന്, G-10 ഫൈബർഗ്ലാസ് അല്ലെങ്കിൽ ടോർലോൺ® പോലുള്ള കുറഞ്ഞ ചാലകതയുള്ള വസ്തുക്കൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രവർത്തന സമയത്ത് താപ സങ്കോചം, വൈബ്രേഷൻ, ഭൂകമ്പ ലോഡിംഗ് എന്നിവ സഹിക്കാൻ ഈ സപ്പോർട്ടുകൾക്ക് ഇപ്പോഴും മതിയായ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി ആവശ്യമാണ്.

ദീർഘമായ ട്രാൻസ്ഫർ ദൂരങ്ങളിൽ, വാക്വം ഇൻസുലേഷനും ഫോം ഇൻസുലേഷനും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം വളരെ ശ്രദ്ധേയമാകും. നന്നായി പരിപാലിക്കുന്ന ഒരു വാക്വം സിസ്റ്റത്തിന് വർഷങ്ങളോളം സ്ഥിരമായ താപ പ്രകടനം നിലനിർത്താൻ കഴിയും, അതേസമയം ഫോം ഇൻസുലേഷൻ അന്തരീക്ഷത്തിൽ നിന്ന് ക്രമേണ ഈർപ്പം ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു. ഈർപ്പം ഇൻസുലേഷൻ ഘടനയിൽ പ്രവേശിച്ച് മരവിച്ചുകഴിഞ്ഞാൽ, കാലക്രമേണ താപ കാര്യക്ഷമത കുറയുന്നു.

പ്രായോഗിക അർദ്ധചാലക LN₂ വിതരണ സംവിധാനങ്ങളിൽ,വാക്വം-ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പിംഗ്പരമ്പരാഗത ഫോം-ഇൻസുലേറ്റഡ് ലൈനുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, പ്രത്യേകിച്ച് നീണ്ട ഔട്ട്ഡോർ റണ്ണുകളിലോ തുടർച്ചയായി പ്രവർത്തിക്കുന്ന പ്രധാന ഹെഡറുകളിലോ, ബോയിൽ-ഓഫ് ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കാൻ ഇതിന് കഴിയും.

ഡൈനാമിക് വാക്വം പമ്പ് സിസ്റ്റം

സ്റ്റാറ്റിക് വാക്വം ജാക്കറ്റുകളുടെ ഒരു പ്രശ്നം, വാതക വിതരണം, ഹീലിയം പെർമിയേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് ചോർച്ച എന്നിവ കാരണം വാക്വം ഗുണനിലവാരം വർഷങ്ങളായി പതുക്കെ വഷളായേക്കാം എന്നതാണ്.

ഇത് പരിഹരിക്കുന്നതിന്, വലിയ വ്യാസമുള്ളവാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പ്സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഒരുഡൈനാമിക് വാക്വം പമ്പ് സിസ്റ്റം. സിസ്റ്റത്തിൽ സാധാരണയായി ഒരു കോം‌പാക്റ്റ് ടർബോമോളിക്യുലാർ അല്ലെങ്കിൽ സ്ക്രോൾ പമ്പ് ക്രമീകരണം ഉൾപ്പെടുന്നു, ഇത് ഇടയ്ക്കിടെ വാർഷിക വാക്വം അതിന്റെ യഥാർത്ഥ രൂപകൽപ്പന അവസ്ഥയിലേക്ക് പുനഃസ്ഥാപിക്കുന്നു.

കോൾഡ്-കാഥോഡ് ഗേജുകൾ ഉപയോഗിച്ച് വാക്വം ലെവലുകൾ തുടർച്ചയായി നിരീക്ഷിക്കുന്നു. നിശ്ചിത ലക്ഷ്യത്തിനപ്പുറം മർദ്ദം ഉയരുമ്പോൾ മാത്രമേ പമ്പ് സജീവമാകൂ, അതിനാൽ വൈദ്യുതി ഉപഭോഗവും പരിപാലന ആവശ്യകതകളും താരതമ്യേന കുറവായിരിക്കും.

തായ്‌വാനിലെ ഹ്സിഞ്ചുവിലുള്ള ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ സൗകര്യ നവീകരണ പദ്ധതിയിൽ, സജീവമായി കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന ഒരു വാക്വം പമ്പിംഗ് സിസ്റ്റം, പ്രായമാകുന്ന LN₂ ട്രാൻസ്ഫർ ഹെഡറിന് ഉൽപ്പാദന ലൈൻ ഷട്ട്ഡൗൺ ചെയ്യാതെ തന്നെ അതിന്റെ യഥാർത്ഥ പ്രവർത്തന അവസ്ഥയ്ക്ക് സമീപം താപ പ്രകടനം വീണ്ടെടുക്കാൻ അനുവദിച്ചു. പുതിയ പ്രോജക്റ്റുകൾക്ക്, സജീവമായ വാക്വം അറ്റകുറ്റപ്പണി സിസ്റ്റത്തിന്റെ സേവന ജീവിതത്തിലുടനീളം ദീർഘകാല ഇൻസുലേഷൻ സ്ഥിരതയിൽ ഓപ്പറേറ്റർമാർക്ക് മികച്ച ആത്മവിശ്വാസം നൽകുന്നു.

മെറ്റീരിയലുകളും സിസ്റ്റം ഡിസൈനും

സെമികണ്ടക്ടർ, അൾട്രാ-ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി, അകത്തെ പ്രോസസ്സ് പൈപ്പ് സാധാരണയായി 304L അല്ലെങ്കിൽ 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ഓക്സിജൻ-ക്ലീൻ സേവന ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനും മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നതിനുമായി ആന്തരിക പ്രതലങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കുകയും ശുദ്ധീകരിക്കുകയും നിഷ്ക്രിയമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഇൻസ്റ്റലേഷൻ പരിതസ്ഥിതിയെ ആശ്രയിച്ച് പുറം ജാക്കറ്റിൽ പെയിന്റ് ചെയ്ത കാർബൺ സ്റ്റീൽ അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ഉപയോഗിക്കാം. ക്ലീൻറൂമിനോട് ചേർന്നുള്ള പ്രദേശങ്ങളിൽ, തുരുമ്പെടുക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ ഉപരിതല മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കാൻ സ്റ്റെയിൻലെസ് പുറം ജാക്കറ്റുകൾ പലപ്പോഴും തിരഞ്ഞെടുക്കപ്പെടുന്നു.

താപ സങ്കോചവും ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം പരിഗണിക്കേണ്ടതുണ്ട്. ഒരു LN₂ ട്രാൻസ്ഫർ ലൈൻ ആംബിയന്റ് താപനിലയ്ക്കും പ്രവർത്തന താപനിലയ്ക്കും ഇടയിൽ ഒരു മീറ്ററിൽ ഏകദേശം 2.5–3 മില്ലീമീറ്റർ ചുരുങ്ങാൻ കഴിയും. ഈ ചലനം ആഗിരണം ചെയ്യുന്നതിന്, പൈപ്പിംഗ് ശൃംഖലയിലുടനീളം കണക്കാക്കിയ ആങ്കർ സ്ഥാനങ്ങളിൽ ബെല്ലോസ്-ടൈപ്പ് എക്സ്പാൻഷൻ കോമ്പൻസേറ്ററുകൾ സാധാരണയായി സ്ഥാപിക്കുന്നു.

ചലനശേഷിയോ വഴക്കമോ ആവശ്യമുള്ളിടത്ത്,വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് ഫ്ലെക്സിബിൾ ഹോസ്സാധാരണയായി അസംബ്ലികളാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്. ടാങ്ക് കണക്ഷനുകൾ, ഉപകരണ ഹുക്ക്-അപ്പുകൾ, മാനിഫോൾഡ് ബ്രാഞ്ചുകൾ, മൊബൈൽ പ്രോസസ് സ്കിഡുകൾ എന്നിവയാണ് സാധാരണ സ്ഥലങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നത്.

ഈ ഫ്ലെക്സിബിൾ ഹോസുകളിൽ ഒരു കോറഗേറ്റഡ് അകത്തെ കോർ, വാക്വം ജാക്കറ്റ്, കർക്കശമായ വാക്വം പൈപ്പിന് സമാനമായ MLI ഘടന എന്നിവ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ശരിയായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത അസംബ്ലികൾക്ക് ആവർത്തിച്ചുള്ള ക്രയോജനിക് തെർമൽ സൈക്ലിംഗിന് ശേഷം വാക്വം സമഗ്രത നിലനിർത്താൻ കഴിയും, അതേസമയം ഇൻസുലേറ്റ് ചെയ്യാത്ത ബ്രെയ്ഡഡ് ഹോസുകളിൽ സാധാരണയായി കാണപ്പെടുന്ന ബാഹ്യ ഐസ് രൂപീകരണം തടയുകയും ചെയ്യും.

വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് വാൽവുകൾഒപ്പംഫേസ് സെപ്പറേറ്ററുകൾ

ചൂട് ചോർച്ച നിയന്ത്രിക്കുന്നത് നേരായ പൈപ്പ് ഭാഗങ്ങളിൽ മാത്രമായി പരിമിതപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ല. വാൽവുകളുംഫേസ് സെപ്പറേറ്ററുകൾക്രയോജനിക് പ്രവാഹ സാഹചര്യങ്ങൾ സ്ഥിരമായി നിലനിർത്തുന്നതിലും ഇവ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.

A വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് വാൽവ്വളരെ താഴ്ന്ന താപനിലയിൽ നിന്ന് നിർണായകമായ സീലിംഗ് സ്ഥലങ്ങളെ അകറ്റി നിർത്താൻ സാധാരണയായി ഒരു എക്സ്റ്റെൻഡഡ് ബോണറ്റും വാക്വം-ജാക്കറ്റഡ് ബോഡിയും ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് സ്റ്റെം പാക്കിംഗിന് ചുറ്റും മരവിപ്പിക്കുന്നത് തടയാനും വാൽവ് ഘടനയ്ക്കുള്ളിലെ അനാവശ്യമായ ഘനീഭവിക്കൽ കുറയ്ക്കാനും സഹായിക്കുന്നു.

വാക്വം ഇൻസുലേഷൻ ഇല്ലെങ്കിൽ, വാൽവുകൾ സിസ്റ്റത്തിനുള്ളിൽ കേന്ദ്രീകൃത ഹീറ്റ്-ലീക്ക് പോയിന്റുകളായി മാറും. ലിക്വിഡ് ക്രയോജനിക് സേവനത്തിൽ, ഇത് പ്രാദേശികവൽക്കരിച്ച നീരാവി പോക്കറ്റുകൾ, അസ്ഥിരമായ ഒഴുക്ക് സാഹചര്യങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ വാട്ടർ ഹാമർ ഇവന്റുകൾ എന്നിവ സൃഷ്ടിച്ചേക്കാം.

സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ്സ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, ASME B31.3, EN 13480 ആവശ്യകതകൾക്കനുസൃതമായി എക്സ്റ്റെൻഡഡ്-ബോണറ്റ് ഗ്ലോബ് വാൽവുകളും ടോപ്പ്-എൻട്രി ബോൾ വാൽവുകളും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

A വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് ഫേസ് സെപ്പറേറ്റർസെൻസിറ്റീവ് ഡൌൺസ്ട്രീം ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് ദ്രാവകം പ്രവേശിക്കുന്നതിന് മുമ്പ് ഫ്ലാഷ് ഗ്യാസ് നീക്കം ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, അസ്ഥിരമായ രണ്ട്-ഘട്ട പ്രവാഹത്തിന് പ്രോസസ് അലാറങ്ങളോ ഉപകരണ ഇന്റർലോക്കുകളോ പ്രവർത്തനക്ഷമമാക്കാൻ ആവശ്യമായ മർദ്ദം സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും.

മിക്ക സെപ്പറേറ്റർ ഡിസൈനുകളിലും, നീരാവി-ദ്രാവക വേർതിരിക്കൽ കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഒരു ടാൻജൻഷ്യൽ ഇൻലെറ്റും ഒരു ആന്തരിക ഡെമിസ്റ്റർ ഘടനയും ഉപയോഗിക്കുന്നു. പല പ്രോജക്റ്റുകളിലും, സെപ്പറേറ്റർ പ്രോസസ് ഫ്ലോറിന് സമീപം സ്ഥാപിച്ചിട്ടുള്ള ഒരു മിനി ടാങ്കുമായി സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു. കാര്യമായ അധിക താപ ലോഡ് അവതരിപ്പിക്കാതെ ഹ്രസ്വകാല ഡിമാൻഡ് ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ സ്ഥിരപ്പെടുത്താൻ സഹായിക്കുന്ന ഒരു ലോക്കൽ ബഫർ വോള്യമായി മിനി ടാങ്ക് പ്രവർത്തിക്കുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോജക്റ്റ് ഉദാഹരണം

ദക്ഷിണ കൊറിയയിലെ ഒരു DRAM സൗകര്യ വിപുലീകരണ പദ്ധതിക്ക് ഇമ്മേഴ്‌ഷൻ-കൂൾഡ് ടെസ്റ്റ് ഉപകരണങ്ങളും വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളും നൽകുന്ന ഒരു പുതിയ LN₂ വിതരണ ശൃംഖല ആവശ്യമായി വന്നു.

വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് ഫ്ലെക്സിബിൾ ഹോസ് അസംബ്ലികൾ വഴി ഒന്നിലധികം ഉപകരണ ശാഖകളുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന ഏകദേശം 180 മീറ്റർ നീളമുള്ള കർക്കശമായ വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് പൈപ്പ് ഇൻസ്റ്റലേഷനിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ബൾക്ക് സ്റ്റോറേജ് ഏരിയയ്ക്ക് സമീപം ഒരു വാക്വം ഇൻസുലേറ്റഡ് ഫേസ് സെപ്പറേറ്ററും 2 m³ മിനി ടാങ്കും സ്ഥാപിച്ചു.

പ്രധാന 6 ഇഞ്ച് ട്രാൻസ്ഫർ ലൈനുകളിൽ ഡൈനാമിക് വാക്വം പമ്പ് സിസ്റ്റം 5×10⁻⁶ mbar-ൽ താഴെ വാർഷിക മർദ്ദം നിലനിർത്തി.

കമ്മീഷൻ ചെയ്യുന്ന സമയത്ത്, സ്ഥിരമായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളിൽ പ്രൈമറി ഹെഡറിൽ അളന്ന താപ ചോർച്ച ശരാശരി 1.3 W/m ആയിരുന്നു. ഒരു വർഷത്തെ തുടർച്ചയായ സേവനത്തിനുശേഷം, ആനുകാലിക വാക്വം വീണ്ടെടുക്കൽ സൈക്കിളുകൾ ഇൻസുലേഷൻ പ്രകടനം യഥാർത്ഥ അടിസ്ഥാന അവസ്ഥയ്ക്ക് അടുത്തായി നിലനിർത്തി.

മുൻ ഫോം-ഇൻസുലേറ്റഡ് ആശയവുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഈ സൗകര്യം ഗണ്യമായി കുറഞ്ഞ ദ്രാവക നൈട്രജൻ നഷ്ടങ്ങളും മെച്ചപ്പെട്ട പ്രവർത്തന സ്ഥിരതയും റിപ്പോർട്ട് ചെയ്തു. ഇൻസുലേഷൻ ഡീഗ്രേഡേഷനുമായി ബന്ധപ്പെട്ട ഈർപ്പം സംബന്ധിച്ച മലിനീകരണ സംഭവങ്ങളൊന്നും പ്രോസസ് ലോഗുകൾ കാണിച്ചില്ല.

അപേക്ഷകൾ

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം, എൽഎൻജി അടിസ്ഥാന സൗകര്യങ്ങൾ, വ്യാവസായിക വാതക വിതരണം, ദ്രാവക ഹൈഡ്രജൻ പ്രയോഗങ്ങൾ എന്നിവയിൽ വാക്വം-ഇൻസുലേറ്റഡ് ക്രയോജനിക് ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പ്രവർത്തന പരിതസ്ഥിതികൾ വ്യത്യസ്തമാണെങ്കിലും, എഞ്ചിനീയറിംഗ് ലക്ഷ്യം അതേപടി തുടരുന്നു:

• വാക്വം സ്ഥിരത നിലനിർത്തുക
• താപ പ്രവേശനം കുറയ്ക്കുക
• ട്രാൻസ്ഫർ പ്രക്രിയയിലുടനീളം ഫേസ് സ്ഥിരത നിലനിർത്തുക.

പ്രോജക്റ്റ് വ്യാപ്തിയും പ്രാദേശിക ആവശ്യകതകളും അനുസരിച്ച് സിസ്റ്റം ഡിസൈൻ സാധാരണയായി ASME B31.3, EN 13480, ISO 21029 തുടങ്ങിയ അന്താരാഷ്ട്ര മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു.

അർദ്ധചാലക സൗകര്യങ്ങൾക്ക്, ക്രയോജനിക് വിതരണ സംവിധാനത്തിന്റെ പ്രകടനം പ്രവർത്തനക്ഷമത, ദ്രാവക ഉപഭോഗം, ദീർഘകാല പ്രക്രിയ വിശ്വാസ്യത എന്നിവയെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. അതിനാൽ, പൈപ്പിംഗ്, വാൽവുകൾ, സെപ്പറേറ്ററുകൾ, വാക്വം മെയിന്റനൻസ് സിസ്റ്റങ്ങൾ എന്നിവ സ്വതന്ത്ര ഘടകങ്ങളായിട്ടല്ല, ഒരു സംയോജിത താപ സംവിധാനമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്യണം.

At എച്ച്എൽ ക്രയോജനിക്സ്സ്റ്റാൻഡേർഡ് കാറ്റലോഗ് കോൺഫിഗറേഷനുകളേക്കാൾ യഥാർത്ഥ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങൾ, തെർമൽ ലോഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ഇൻസ്റ്റലേഷൻ ആവശ്യകതകൾ എന്നിവയെ അടിസ്ഥാനമാക്കി ക്രയോജനിക് ട്രാൻസ്ഫർ പരിഹാരങ്ങൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിന് ഞങ്ങൾ EPC കരാറുകാർ, ഗ്യാസ് കമ്പനികൾ, സെമികണ്ടക്ടർ സൗകര്യങ്ങൾ എന്നിവയുമായി സഹകരിക്കുന്നു.

നിങ്ങൾ ഒരു പുതിയ സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബ് പ്രോജക്റ്റ് ആസൂത്രണം ചെയ്യുകയാണെങ്കിലോ നിലവിലുള്ള ഒരു LN₂ വിതരണ ശൃംഖല നവീകരിക്കുകയാണെങ്കിലോ, ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിനായി ഹീറ്റ് ലീക്ക് പ്രകടനം, വാക്വം തന്ത്രം, സിസ്റ്റം കോൺഫിഗറേഷൻ എന്നിവ വിലയിരുത്താൻ ഞങ്ങളുടെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ടീമിന് സഹായിക്കാനാകും.